DC電源
このプラズマ励起の古典的形式ではDC電源装置を使っています。 コストが問題となる場面で、この技術はもっとも経済的なソリューションを提供します。この電源装置は主にシングルカソードシステムにおいて、メタルモードのスパッタリングのようなDCバイアスプロセスで使用されます。

ヒュティンガはプラズマ励起用DC電源装置を多数取り揃えています。

DC:
製品ラインナップ Power Frequency

[kW]

[kHz]
from to    
TruPlasma Arc 9 12  
TruPlasma Bias 3 48 -  
TruPlasma Highpulse 1000 8000  
TruPlasma DC 2 120 -  
TruPlasma Bipolar 5 30  
TruPlasma DC 10 30  
TIG DC 30 180 -  



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製品に関する質問は、弊社セールスにお問い合わせ下さい。
 
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