DC電源
このプラズマ励起の古典的形式ではDC電源装置を使っています。 コストが問題となる場面で、この技術はもっとも経済的なソリューションを提供します。この電源装置は主にシングルカソードシステムにおいて、メタルモードのスパッタリングのようなDCバイアスプロセスで使用されます。
ヒュティンガはプラズマ励起用DC電源装置を多数取り揃えています。
DC:
製品ラインナップ
Power
Frequency
[kW]
[kHz]
from
to
TruPlasma Arc
2.5
30.0
TruPlasma Bias
1.0
72.0
-
TruPlasma Highpulse
1000.0
18000.0
TruPlasma DC
1.0
240.0
-
TruPlasma Bipolar
5.0
200.0
TruPlasma DC
10.0
30.0
TIG DC
30.0
180.0
-
問い合わせ
製品に関する質問は、弊社セールスにお問い合わせ下さい。
© 2008 TRUMPF, 22.10.2008
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