DC電源

このプラズマ励起の古典的形式ではDC電源装置を使っています。 コストが問題となる場面で、この技術はもっとも経済的なソリューションを提供します。この電源装置は主にシングルカソードシステムにおいて、メタルモードのスパッタリングのようなDCバイアスプロセスで使用されます。

ヒュティンガはプラズマ励起用DC電源装置を多数取り揃えています。

DC:
製品ラインナップ Power Frequency

[kW]

[kHz]

from to    
TruPlasma Arc 2.5 30.0  
TruPlasma Bias 1.0 72.0 -  
TruPlasma Highpulse 1000.0 18000.0  
TruPlasma DC 1.0 240.0 -  
TruPlasma Bipolar 5.0 200.0  
TruPlasma DC 10.0 30.0  
TIG DC 30.0 180.0 -  



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製品に関する質問は、弊社セールスにお問い合わせ下さい。
 
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