MF電源
MFの電源装置には幾つかの利点があります。

  • 直流システムよりも高いプロセス安定性
  • RFソリューションより高い費用効率
  • 高いコーティング率で大面積のスパッタリングに理想的
  • デュアルマグネトロンのアプリケーションでは、ガラスと皮膜コーティングシステム構築の基礎

大面積コーティング電源装置の世界的メーカーとして、ヒュティンガは最高のMF電源装置を提供しています。

MF:
製品ラインナップ Power Frequency

[kW]

[kHz]
from to    
TruPlasma MF 100.0 200.0 20 50
TruPlasma MF 25.0 100.0 20 70
TruPlasma MF 10.0 40.0 20 100



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製品に関する質問は、弊社セールスにお問い合わせ下さい。
 
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