RF電源 |
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プラズマ励起のためのRF電源装置はスパッタリング、エッチングなど様々なアプリケーションに利用されます。多くの重要なプロセスがRFソリューションでなければうまくいきません。
RF電源装置はアウトプット安定性が非常に高く、半導体、超小型部品など非常に薄いデバイスの製造に使用されます。
ヒュティンガはRF電源装置を複数取り揃えています。
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| RF: |
| 製品ラインナップ |
Power |
Frequency |
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[kW] |
[kHz] |
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from |
to |
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| TruPlasma RF |
7.5 |
50.0 |
3390/13560 |
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| PFG-RF |
0.3 |
5.0 |
13560 |
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| QINTO |
2.0 |
3.0 |
13560 |
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製品に関する質問は、弊社セールスにお問い合わせ下さい。
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